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suifeng50

铜虫 (小有名气)

[求助] 电子束沉积的电子枪灯丝很亮,有问题吗?

如题,不是专业人士,就用过几次e-beam,最近在练习设备使用,用的时候突然发现电子枪灯丝很亮,比坩埚这边亮很多。坩埚里放的是Ti,电流我调到20mA左右就很亮,以前好像没见过这样的情况,不是很确定。所以想问一问这是有问题吗?请各位虫友帮忙解答一下,谢谢。
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