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勿忘心安里铁虫 (小有名气)
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[交流]
刻蚀工艺中的性能损伤问题
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| 请问 刻蚀工艺中的性能损伤问题？怎样减少性能损伤问题，刻蚀的对象是铁电薄膜材料PZT，用的是离子束刻蚀机。怎样找到所谓的创新点，希望有关的虫友能支招，感谢回复！ |
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