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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 刻蚀工艺中的性能损伤问题

请问 刻蚀工艺中的性能损伤问题？怎样减少性能损伤问题，刻蚀的对象是铁电薄膜材料PZT，用的是离子束刻蚀机。怎样找到所谓的创新点，希望有关的虫友能支招，感谢回复！
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1楼 2016-01-05 22:15:28
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