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金虫 (小有名气)

[求助] 有哪种技术（ALD除外）可以将单质硫或者硫的化合物沉积为膜，厚度在100nm以内已有1人参与

如题，
有哪种技术（ALD除外）可以将单质硫或者硫的化合物沉积为膜，厚度在100nm以内，不知道E-beam evaporation是否可以？但是单质硫一般都是粉末，不知道有没有块体的单质硫可以用于E-beam，或者硫的金属化合物也可以啊。
刚接触，还请大家不吝赐教，在此先谢过了！

1楼 2016-01-05 03:17:07

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至尊木虫 (职业作家)

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
appleliu0506: 金币+5, ★★★很有帮助, 太感谢了！ 2016-01-05 20:32:02

1.单质硫加热熔化再冷却即可成为块体。
2.硫的沸点好像只有440度多点，物理气相沉积也应该比较容易。

2楼2016-01-05 14:43:10

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