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appleliu0506

金虫 (小有名气)

[求助] 有哪种技术(ALD除外)可以将单质硫或者硫的化合物沉积为膜,厚度在100nm以内 已有1人参与

如题,
有哪种技术(ALD除外)可以将单质硫或者硫的化合物沉积为膜,厚度在100nm以内,不知道E-beam evaporation是否可以?但是单质硫一般都是粉末,不知道有没有块体的单质硫可以用于E-beam,或者硫的金属化合物也可以啊。
刚接触,还请大家不吝赐教,在此先谢过了!
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sxll

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
appleliu0506: 金币+5, ★★★很有帮助, 太感谢了! 2016-01-05 20:32:02
1.单质硫加热熔化再冷却即可成为块体。
2.硫的沸点好像只有440度多点,物理气相沉积也应该比较容易。
2楼2016-01-05 14:43:10
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