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潇流风

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀膜

求大神指教
看到文章中研究V对Ti-Si-V-N涂层组织,机械性能,抗氧化性的影响。
AISI M2钢(机械性能测试)为基体沉积
FeCrAl合金和Al2O3(氧化测试)为基体沉积
(111)Si(厚度测试和化学成分测试)为基体沉积
为什么会选用不同的基体?
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潇流风

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by muxiao-chong at 2016-01-02 21:00:40
多看文献你就懂了   用硅片方便于测厚度

谢谢

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3楼2016-01-02 21:51:38
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muxiao-chong

木虫 (正式写手)

炉火纯青

【答案】应助回帖

★ ★
20091783: 应助指数+1 2016-04-24 18:24:09
潇流风(20091783代发): 金币+2 2016-04-24 18:24:13
多看文献你就懂了   用硅片方便于测厚度

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热热热
2楼2016-01-02 21:00:40
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