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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问国内哪个科研机构有纳米加工实验室？
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chuandanwei

木虫 (著名写手)

[求助] 请问国内哪个科研机构有纳米加工实验室？ 已有8人参与

要求能做以下这些工作Photolithography、Reactive Ion Etching（RIE）、Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)、Focused Ion Beam (FIB) Milling
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1楼 2016-01-01 03:54:30
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xuzhixiao

铁杆木虫 (著名写手)

Science, Technology and Art

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chuandanwei: 金币+1, ★有帮助 2016-01-03 03:17:14
引用回帖:
4楼: Originally posted by lihuafenglee at 2016-01-01 22:42:54
中科院 国家纳米科学中心

这个一定有，去参观过纳米加工实验室，有紫外光刻蚀，电子束刻蚀等设备
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”五爱青年“：爱科技，爱音乐，爱IT，爱阅读，爱健身
5楼2016-01-02 21:01:19
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apollo材料

新虫 (小有名气)
中科院苏州纳米所，应该有，上官网看看就可以…

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2楼2016-01-01 04:05:09
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此用户非法

新虫 (初入文坛)
中电44所 可能有

发自小木虫Android客户端
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3楼2016-01-01 11:54:02
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lihuafenglee

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chuandanwei: 金币+1, ★有帮助 2016-01-02 03:30:46
中科院 国家纳米科学中心

发自小木虫IOS客户端
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4楼2016-01-01 22:42:54
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