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zsm201939

铜虫 (初入文坛)

[求助] 衬底似乎烧焦了 已有1人参与

Date: 28-12-2015 (V2O5 99.99%)
Experimental conditions: RT-60min-680C-360min-680C-RT (3Ar-0.1O2/ 3torr)
Substrate: 100nm SiO2+ 100nm SiN
Results:  no wires, the subsrate is black and burning

衬底似乎烧焦了
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衬底似乎烧焦了-1
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衬底似乎烧焦了-2
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衬底似乎烧焦了-3
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衬底似乎烧焦了-4
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生活学习两不误
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的氧化钒是咋回事?能扛那么高温度???
如果只是SiO和SiN,不会有事才对。
2楼2015-12-30 19:24:26
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