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[求助] 求助哪里有I7步进式光刻机，可以做1.5um线宽，2寸片光刻的？ 已有1人参与

求助哪里有步进式光刻机，可以做2um线宽，2寸片光刻的？
之前是在苏州纳米所做，但是现在那里的I7步进式光刻机坏了，请问哪里还有相同的设备开放的？
谢谢！
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@keithley

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1楼 2015-12-23 14:32:11
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2015-12-23 14:39:03
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