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qinkaiqiang

木虫 (小有名气)

[求助] 请问诸位关于柔性超电容中plane device 是指的什么 已有1人参与

诸位,本人做柔性超电容,审稿人意见中提到说我的器件不是plane device,请问审稿人所说的plane device 是指的目前用光刻做的micro-supercapacitors还是指的其他意思?多谢!
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yswyx

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【答案】应助回帖

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qinkaiqiang: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-12-18 22:59:50
plane device 平面器件,对应的是传统的硅基半导体的平面工艺,一层层光刻、刻蚀、掺杂等等工艺构成的平面器件结构。
看不到你的器件是啥样的,不知道审稿人说的对不对。
2楼2015-12-18 13:55:19
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qinkaiqiang

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-18 13:55:19
plane device 平面器件,对应的是传统的硅基半导体的平面工艺,一层层光刻、刻蚀、掺杂等等工艺构成的平面器件结构。
看不到你的器件是啥样的,不知道审稿人说的对不对。

谢谢,你的意思是说plane device 结构的柔性超电容就是利用光刻工艺做出来的超电容?
3楼2015-12-18 23:00:43
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yswyx

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引用回帖:
3楼: Originally posted by qinkaiqiang at 2015-12-18 23:00:43
谢谢,你的意思是说plane device 结构的柔性超电容就是利用光刻工艺做出来的超电容?...

不是简单的说是否用光刻,而是说器件结构本身是否是平面的。没有结构图,我也无法判断

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-19 11:28:45
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