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纳米薄膜表面的光滑度检验
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| 采用真空蒸镀法在单晶半导体晶片上制备晶态纳米薄膜，要求制备的表面光滑如镜面。请设计一种实时跟踪检测表面是否光滑如镜面的检测装置，并说明其工作原理 |
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