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dashan_612

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射的时候 靶表面的温度大约是多少呢 有效期至2008.9.25

使用磁控溅射仪器工作的时候 靶表面的温度大约是多少呢

[ Last edited by dashan_612 on 2008-9-27 at 08:18 ]
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1楼 2008-09-23 16:04:29
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lvhong

至尊木虫 (著名写手)

木虫
200－300度，当然，冷却比较好的情况下会低些。
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metal，Iknowit？
2楼2008-09-23 16:14:59
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dashan_612

木虫 (正式写手)
衬底加热到400、500度 由于热辐射 靶表面能有多少度 大约 谁有这方面的资料或经验 谢谢
我的靶有水冷 但是靶上面只能承受240多度 高了就完蛋了 所以一直没敢加高温 300度我试过 没问题  谁有经验请指教一下 谢谢
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3楼2008-09-23 16:25:15
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