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告别乖乖女

新虫 (正式写手)

[交流] 你们平时都是如何去除铝片表面的氧化层的?什么样的方法能去除的均匀?

各位虫友都来交流一下,你们平时都是如何去除铝片表面的氧化层的?什么样的方法能去除的均匀?我想用铝片做置换反应,但是反应出来的形貌不是很均匀。我的方法就是用10%的NaOH浸泡20min,再用硝酸浸泡20min,但是从电镜图来看,表面形貌并不均匀,不知道有经验的虫友有什么细节上的注意之处,希望大家多多交流,金币多多~
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zhengwenjian

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
即使钝化后的铝箔做到20min10%氢氧化钠已经算是厉害了,氢氧化钠可以去除氧化层同样可以腐蚀基材,建议你降低氢氧化钠浓度,然后加入缓蚀剂,应该会得到相对均匀的表面
FightingFighting!!!!
7楼2016-01-27 15:10:04
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dorrnm

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+3, 我用的铝片就是从厂家直接买来的,3mm厚。老师说在反应之前一定要去除氧化膜,说是金属表面总是会有一层氧化膜的。但是我不知道氧化膜有多厚,去除之后有多厚……谢谢你的建议,我先试试让液体循环 2015-12-17 08:56:50
铝表面的氧化层是因为氧化形成的么?如果氧化本身不均匀,氧化膜也不均匀,腐蚀后表面形貌当然不均匀。
湿法腐蚀本身就是等向腐蚀,腐蚀不均匀只能是因为液体各部分浓度不一样,可以加一个液体循环系统改善。
一般六寸的晶圆表面300nm的氧化膜腐蚀200nm后表面厚度差只有5~10nm

发自小木虫Android客户端
2楼2015-12-17 01:36:08
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tianbad

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+1, 谢谢!请问你试过用这个方法去除铝片的氧化膜吗? 2015-12-17 08:58:16
你可以试试硫酸加氢氟酸混合使用。若工件带油须先清洗干净。

发自小木虫IOS客户端
3楼2015-12-17 02:54:12
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tianbad

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by tianbad at 2015-12-17 02:54:12
你可以试试硫酸加氢氟酸混合使用。若工件带油须先清洗干净。

是可以去除的,至于均匀和平整就不敢保证了。

发自小木虫IOS客户端
4楼2015-12-18 02:04:14
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