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[交流]
你们平时都是如何去除铝片表面的氧化层的？什么样的方法能去除的均匀？
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| 各位虫友都来交流一下，你们平时都是如何去除铝片表面的氧化层的？什么样的方法能去除的均匀？我想用铝片做置换反应，但是反应出来的形貌不是很均匀。我的方法就是用10%的NaOH浸泡20min，再用硝酸浸泡20min，但是从电镜图来看，表面形貌并不均匀，不知道有经验的虫友有什么细节上的注意之处，希望大家多多交流，金币多多~ |
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zhengwenjian
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7楼2016-01-27 15:10:04
dorrnm
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+3, 我用的铝片就是从厂家直接买来的，3mm厚。老师说在反应之前一定要去除氧化膜，说是金属表面总是会有一层氧化膜的。但是我不知道氧化膜有多厚，去除之后有多厚……谢谢你的建议，我先试试让液体循环 2015-12-17 08:56:50
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告别乖乖女: 金币+3, 我用的铝片就是从厂家直接买来的，3mm厚。老师说在反应之前一定要去除氧化膜，说是金属表面总是会有一层氧化膜的。但是我不知道氧化膜有多厚，去除之后有多厚……谢谢你的建议，我先试试让液体循环 2015-12-17 08:56:50
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铝表面的氧化层是因为氧化形成的么？如果氧化本身不均匀，氧化膜也不均匀，腐蚀后表面形貌当然不均匀。 湿法腐蚀本身就是等向腐蚀，腐蚀不均匀只能是因为液体各部分浓度不一样，可以加一个液体循环系统改善。 一般六寸的晶圆表面300nm的氧化膜腐蚀200nm后表面厚度差只有5～10nm 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-12-17 01:36:08
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+1, 谢谢!请问你试过用这个方法去除铝片的氧化膜吗？ 2015-12-17 08:58:16
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+1, 谢谢!请问你试过用这个方法去除铝片的氧化膜吗？ 2015-12-17 08:58:16
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你可以试试硫酸加氢氟酸混合使用。若工件带油须先清洗干净。 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2015-12-17 02:54:12
4楼2015-12-18 02:04:14
