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[交流]
你们平时都是如何去除铝片表面的氧化层的?什么样的方法能去除的均匀?
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| 各位虫友都来交流一下,你们平时都是如何去除铝片表面的氧化层的?什么样的方法能去除的均匀?我想用铝片做置换反应,但是反应出来的形貌不是很均匀。我的方法就是用10%的NaOH浸泡20min,再用硝酸浸泡20min,但是从电镜图来看,表面形貌并不均匀,不知道有经验的虫友有什么细节上的注意之处,希望大家多多交流,金币多多~ |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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5楼2015-12-18 16:20:20
dorrnm
金虫 (小有名气)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+3, 我用的铝片就是从厂家直接买来的,3mm厚。老师说在反应之前一定要去除氧化膜,说是金属表面总是会有一层氧化膜的。但是我不知道氧化膜有多厚,去除之后有多厚……谢谢你的建议,我先试试让液体循环 2015-12-17 08:56:50
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+3, 我用的铝片就是从厂家直接买来的,3mm厚。老师说在反应之前一定要去除氧化膜,说是金属表面总是会有一层氧化膜的。但是我不知道氧化膜有多厚,去除之后有多厚……谢谢你的建议,我先试试让液体循环 2015-12-17 08:56:50
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铝表面的氧化层是因为氧化形成的么?如果氧化本身不均匀,氧化膜也不均匀,腐蚀后表面形貌当然不均匀。 湿法腐蚀本身就是等向腐蚀,腐蚀不均匀只能是因为液体各部分浓度不一样,可以加一个液体循环系统改善。 一般六寸的晶圆表面300nm的氧化膜腐蚀200nm后表面厚度差只有5~10nm 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-12-17 01:36:08
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+1, 谢谢!请问你试过用这个方法去除铝片的氧化膜吗? 2015-12-17 08:58:16
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
告别乖乖女: 金币+1, 谢谢!请问你试过用这个方法去除铝片的氧化膜吗? 2015-12-17 08:58:16
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你可以试试硫酸加氢氟酸混合使用。若工件带油须先清洗干净。 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2015-12-17 02:54:12
4楼2015-12-18 02:04:14













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