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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 纳米线是怎么操作搭电极的？
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lvjfwill

铜虫 (初入文坛)

[求助] 纳米线是怎么操作搭电极的？ 已有3人参与

几十纳米宽、几微米长的纳米线是怎么操作搭电极的，文献上写的很简略，不知道他们是怎么做的
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1楼 2015-12-16 17:39:28
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thinfilm2014

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用原子力显微镜做
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2楼2015-12-17 08:56:28
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lvjfwill

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by thinfilm2014 at 2015-12-17 08:56:28
用原子力显微镜做

那么电极是怎么镀上去的
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3楼2015-12-18 10:57:00
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DMJ-HITER

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你是用纳米线作为掩膜，制作沟道吗？然后蒸镀电极？
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4楼2015-12-24 18:51:54
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pony123456

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个一般要使用电子束光刻技术，具体流程是：分散一定位一涂胶一定位一曝光图形一去胶一镀电极一去胶一连接外电极测试

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5楼2015-12-24 22:25:04
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pony123456

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

还有就是利用聚焦离子束直接在纳米线上沉积金属电极

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6楼2015-12-24 22:28:00
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lvjfwill

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by pony123456 at 2015-12-24 22:25:04
这个一般要使用电子束光刻技术，具体流程是：分散一定位一涂胶一定位一曝光图形一去胶一镀电极一去胶一连接外电极测试

就是定位这部分是怎么做的？分散在硅片上的纳米线太小了，光刻机也无法定位，搭电极时候感觉都在碰运气
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7楼2015-12-25 19:26:37
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pony123456

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
lvjfwill: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2016-01-15 17:58:49
分散在硅片上以后，首先定位硅片的四个角的坐标，然后再寻找适合的纳米线，记录下坐标位置，然后涂胶，再进仪器后，首先定位硅片的坐标点，然后在纳米线的位置曝光。

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8楼2015-12-25 22:24:01
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