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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 化学气相沉积
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王宪周

木虫 (小有名气)

[交流] 化学气相沉积

化学气相沉积一般的腔体成分主要是石英还是其他材料？？？小弟刚开始接触材料
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1楼 2015-12-13 19:42:05
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tableman

木虫之王 (文学泰斗)
★
王宪周(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主了。
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10楼2015-12-13 20:13:02
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anderson1

至尊木虫 (著名写手)
★
王宪周(金币+1): 谢谢参与
石英，耐高温，方便

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19楼2015-12-13 20:30:15
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yuxinzhi

新虫 (小有名气)
★
王宪周(金币+1): 谢谢参与
石英管

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23楼2015-12-13 20:37:31
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王宪周

木虫 (小有名气)
引用回帖:
23楼: Originally posted by yuxinzhi at 2015-12-13 20:37:31
石英管

但是氧化硼和石英反应..化学气相沉积只能是石英管吗？？？
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31楼2015-12-13 21:42:33
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fmgkjcx

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
CVD(化学气相沉积)，腔体根据不同的需求是不一样的，可以是陶瓷，也可以是某些金属，但腔体内会抽真空

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33楼2015-12-13 22:48:15
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dorrnm

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
呃，腔体就是个密封作用吧，别漏气就行啊
你去找个cvd沉积设备看看就知道了

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34楼2015-12-14 09:01:24
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zzkejing

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
35楼2016-04-19 19:24:36
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yinhangka2楼
2015-12-13 19:52   回复  
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德耶谬3楼
2015-12-13 19:53   回复  
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呃 发自小木虫Android客户端
dmbb4楼
2015-12-13 19:57   回复  
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葛丹丹5楼
2015-12-13 20:02   回复  
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time886楼
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zhoushanqun7楼
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xinbanshu8楼
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shibiema9楼
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longwave11楼
2015-12-13 20:15   回复  
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yejinshi12楼
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yuzhuce13楼
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Jason-198914楼
2015-12-13 20:24   回复  
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学识决定成就15楼
2015-12-13 20:26   回复  
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laozhu557216楼
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skyish17楼
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Sammy218楼
2015-12-13 20:28   回复  
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fdzjm20楼
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shwkfd21楼
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tzynew22楼
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novacaine24楼
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sunyiren25楼
2015-12-13 20:45   回复  
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漠漠烟雨26楼
2015-12-13 20:51   回复  
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核桃芝麻27楼
2015-12-13 20:51   回复  
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假大空28楼
2015-12-13 21:08   回复  
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Quan45629楼
2015-12-13 21:13   回复  
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额 发自小木虫Android客户端
jixiangbao30楼
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小蚂蚁199832楼
2015-12-13 22:45   回复  
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