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躬行不语木虫 (小有名气)
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[交流]
多弧镀膜气压和基底负偏压的影响关系
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| 最近，做实验，用多弧离子镀镀AlN,工作气压是0.2pa，基底负偏压加不上去，设置50V，实际显示44V，调试了下，当气压增大为0.5pa，偏压设置为50v，实际值为50V，当气压为0,8pa时，设置50V,实际值80V,气压为1.0pa时，设置偏压50V，实际值100v，请教下有没有高手知道为什么，最初认为是接地不好，还没排除这个原因，不知道是不是气压增大，对基底负偏压有影响，谢谢！！！ |
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