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求解答：HRXRD的三轴衍射模式可以测薄膜的面内面外应力吗？
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| 各位前辈，我要测a面ZnO薄膜面内的c轴、m轴和面外的a轴方向的应力，请问HRXRD的三轴衍射模式可以测吗？我学校有HRXRD，但是不会用三轴衍射模式，请问哪里可以测呢？多谢各位！ |
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