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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 怎样去除硅片上的金属钛？
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a370910527

木虫 (正式写手)

[求助] 怎样去除硅片上的金属钛？ 已有2人参与

如题：求助   怎样去除硅片上的金属钛？
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a370910527

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1楼 2015-12-07 21:20:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
a370910527: 金币+10 2015-12-10 21:13:09
HF，BOE，腐蚀掉就好了。
如果是金属残留，RCA清洗。
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2楼2015-12-08 11:57:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
a370910527: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-12-10 21:13:05
可放置入管式炉中通氢气并将炉温加热到一定温度后保温一段时间试试。
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3楼2015-12-08 16:58:12
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苏州研究所

新虫 (初入文坛)
BOE就行，腐蚀的很快，要是衬底有氧化硅，就不行了。
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4楼2015-12-08 17:35:31
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-08 11:57:43
HF，BOE，腐蚀掉就好了。
如果是金属残留，RCA清洗。

谢谢，SOI片，有氧化硅。
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5楼2015-12-10 21:12:05
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2015-12-08 16:58:12
可放置入管式炉中通氢气并将炉温加热到一定温度后保温一段时间试试。

谢谢，实验条件暂时还达不到
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6楼2015-12-10 21:12:41
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 苏州研究所 at 2015-12-08 17:35:31
BOE就行，腐蚀的很快，要是衬底有氧化硅，就不行了。

说到重点了
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7楼2015-12-10 21:12:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by a370910527 at 2015-12-10 21:12:05
谢谢，SOI片，有氧化硅。...

已经做图形了吗？氧化硅已经暴露了？那你就应该说氧化硅上去除Ti，否则不是逗人玩儿呢嘛
如果做图形了，做光刻胶光刻保护住氧化硅好了，如果没做图形，拿光刻胶把边上封一圈好了。
实在没办法，还可以用加热的硝酸嘛
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8楼2015-12-17 12:35:52
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a370910527

木虫 (正式写手)
送红花一朵
我准备用双氧水啦

发自小木虫Android客户端
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9楼2015-12-17 19:57:48
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