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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

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注册: 2015-04-25
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[交流] 台阶仪测量曲线的相关问题

请问我在测量台阶的过程中，薄膜材料的表面刻蚀情况和效果还算差不多，但是就是有的时候会出现异常的图片，不知为何？如图，希望有相关情况虫友能帮忙解答，谢谢！

IMG_20151204_212127.jpg

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1楼 2015-12-05 22:39:51

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stl409

2楼2015-12-05 22:59:18

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