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勿忘心安里铁虫 (小有名气)
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[交流]
台阶仪测量刻蚀速率，怎样调用测量的数据
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请问台阶仪测量刻蚀速率，怎样调用测量的数据？使用的是探针轮廓仪。以及仪器的摄像头部分坏了，出现蓝屏现象，怎样解决（偶尔还能清晰看到探针和样品，但到开始扫描时，又没有图像了）。谢谢回复！ IMG_20150907_120917.jpg  IMG_20151202_161720.jpg  IMG_20150907_120820.jpg |
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蓝屏多是USD驱动问题，以及最坏的CCD本身硬件问题，很难说的清楚，我倾向于硬件问题，我看你其他帖子里面提到过忽好忽坏，如果是这样的话，我只能说硬件的可能性更高。。。 刻蚀速率（等同于溅射或者蒸镀等的成膜速率），在不同的反应时间下制备样品，用台阶仪测量刻蚀深度(成膜厚度)，建立深度(膜厚)与反应时间的曲线就可以了啊。 因为时间及测量误差的关系，随时间越长，线性越好，时间越短，线性越差。假设刻蚀速率是每秒1nm，第一秒你甚至测不出来台阶，第十秒测出来的不见得比第九秒的深(台阶仪本身的测量误差，你做刻蚀时间控制，以及各种其他因素如刻蚀液浓度变化等)，当然，如果刻蚀速率理论上是均匀的，到了100s，1000s，10000s测出来的数据会线性很多。PS不要纠结我说的数字，只是在举例说明 |
2楼2016-04-18 17:38:08