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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 第一层和第二层图案对准，图案尺寸在100微米
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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 第一层和第二层图案对准，图案尺寸在100微米已有1人参与

第一层是液晶屏，第二层是图案层，上面图案和液晶屏像素排列一致。
有什么比较好的方法，将它们对准起来？
莫尔条纹可以实现吗？
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1楼2015-11-30 10:31:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-11-30 14:55:27
直接采用光刻的对准放过是。
可以上网查 mask aligner，或者接触式光刻机。直接利用两层图形的对准关系，通过显微镜和精密微动系统把两层对准在一起。如果需要进行贴附，可以查bond aligner，键合对准。
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2楼2015-11-30 14:21:28
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ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-30 14:21:28
直接采用光刻的对准放过是。
可以上网查 mask aligner，或者接触式光刻机。直接利用两层图形的对准关系，通过显微镜和精密微动系统把两层对准在一起。如果需要进行贴附，可以查bond aligner，键合对准。

是不是依靠接触式光刻机来进行对准？
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3楼2015-11-30 14:56:49
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ponieer at 2015-11-30 14:56:49
是不是依靠接触式光刻机来进行对准？...

是这个意思，关键看你的液晶屏的尺寸，厚度。
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4楼2015-11-30 16:06:03
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