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上海微系统所成功研制1.5英寸石墨烯单晶晶圆 已有2人参与
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信息功能材料国家重点实验室研究员谢晓明领导的石墨烯研究团队在国际上首次实现石墨烯单核控制形核和快速生长，成功研制~1.5英寸石墨烯单晶。 该团队通过向具有一定溶碳能力的Cu85Ni15合金局域提供碳源，产生局部碳浓度过饱和，成功解决了石墨烯单个核心控制形核这一技术难题。由于溶解在合金衬底内的碳原子参与了表面的石墨烯反应，导致石墨烯单晶近乎线性生长，速度高达180微米/分钟。 单晶硅是微电子技术发展的基石，而单晶石墨烯则是其在电子学领域规模化应用的前提。通过单核控制制备晶圆级石墨烯可以视为是三维硅单晶技术在二维材料中的再现，对于推动石墨烯在电子学领域的应用具有重要意义。该研究发展的控制形核技术也为探索其它二维材料单晶晶圆的制备提供了全新的思路。 该研究成果已经发表在《Nature Materials》上。 |
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