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[求助]
PECDV设备问题求助，急！！
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各位大神好，本人刚刚接手PECVD设备一台（PECVD-Orion III，美国），最近刚刚更换一瓶硅烷，出现了一系列问题： ①SiO2出现彩虹条纹，之前没有，见图：  ②做完实验腔室下电极（样片台）颜色异常黑； ③等离子清洗（CF4+O2）足够长时间之后，下电极（中间）变成黄色，之后再抽走管道残余硅烷后又变成黑色，分别见图：   ④没换硅烷气体之前，也出现过其他帖子上说的白色粉末和黄色油污状东西（做Si3N4的时候），见图：  跪求各位大神多多指点一下，不胜感激！ |
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2楼2015-11-27 16:16:46
