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fengerhua

金虫 (初入文坛)

[求助] PECDV设备问题求助,急!!

各位大神好,本人刚刚接手PECVD设备一台(PECVD-Orion III,美国),最近刚刚更换一瓶硅烷,出现了一系列问题:
①SiO2出现彩虹条纹,之前没有,见图:
PECDV设备问题求助,急!!
②做完实验腔室下电极(样片台)颜色异常黑;
③等离子清洗(CF4+O2)足够长时间之后,下电极(中间)变成黄色,之后再抽走管道残余硅烷后又变成黑色,分别见图:  
PECDV设备问题求助,急!!-1
PECDV设备问题求助,急!!-2
④没换硅烷气体之前,也出现过其他帖子上说的白色粉末和黄色油污状东西(做Si3N4的时候),见图:
PECDV设备问题求助,急!!-3
跪求各位大神多多指点一下,不胜感激!
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fengerhua

金虫 (初入文坛)

大神们快给在下支个招啊
2楼2015-11-27 16:16:46
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