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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PECDV设备问题求助，急！！
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fengerhua

金虫 (初入文坛)

[求助] PECDV设备问题求助，急！！

各位大神好，本人刚刚接手PECVD设备一台（PECVD-Orion III，美国），最近刚刚更换一瓶硅烷，出现了一系列问题：
①SiO2出现彩虹条纹，之前没有，见图：
PECDV设备问题求助，急！！
②做完实验腔室下电极（样片台）颜色异常黑；
③等离子清洗（CF4+O2）足够长时间之后，下电极（中间）变成黄色，之后再抽走管道残余硅烷后又变成黑色，分别见图：  
PECDV设备问题求助，急！！-1
PECDV设备问题求助，急！！-2
④没换硅烷气体之前，也出现过其他帖子上说的白色粉末和黄色油污状东西（做Si3N4的时候），见图：
PECDV设备问题求助，急！！-3
跪求各位大神多多指点一下，不胜感激！
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1楼 2015-11-27 10:53:19
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fengerhua

金虫 (初入文坛)
大神们快给在下支个招啊
赞一下 回复此楼
2楼2015-11-27 16:16:46
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