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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻完如何将ITO清洗干净？
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BZJWSZ

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻完如何将ITO清洗干净？ 已有1人参与

我是先光刻，用的负胶，基片为玻璃片，光刻完镀ITO，然后用丙酮浸泡再在丙酮中超声清洗，再用去离子水清洗，再用异丙醇超声清洗，再去离子水冲洗，发现光刻区以外的表面有好多星星点点的ITO在玻璃表面去除不掉，用棉花蘸取丙酮擦拭效果不大。请问怎么才能清洗干净呢？
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1楼 2015-11-25 09:53:39
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PXweng

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

残胶混合着Lift-off下来的ITO吧，考虑下用Stripper来去胶

发自小木虫IOS客户端
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有事电话说嘛13925288900
2楼2015-12-03 15:48:04
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