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[求助] 四氯化钛负载

各位大神有谁做过四氯化钛的气相沉积，都是用什么办法把四氯化钛通入管式炉里面去然后让惰性气体作为载气而负载在基材上的？求赐教

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1楼 2015-11-23 22:45:41

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