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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 刻蚀机中的本底真空和工作真空 已有1人参与

请问 刻蚀机中的本底真空和工作真空的区别?
真空计是用来显示压强值的,通入氩气后,必须得关闭真空计,那这样怎么会显示压强值(如何知道腔内的压强值)呢?
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2楼2015-11-23 14:42:45
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xy_yancheng at 2015-11-23 14:42:45
1.本底真空,对基体进行处理所需要的最低真空
2.工作真空,是指对基体进行处理时维持的真空
3.真空度,还是腔室内的真空度,除了真空计我就想不出还有什么能测的

感谢你的回复!

发自小木虫Android客户端
3楼2015-11-23 16:22:00
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