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台阶仪怎样来表现 表面粗糙度(如用统计的方式) 已有2人参与
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请问 台阶仪怎样来表现 表面粗糙度(如用统计的方式)？感谢回复。 发自小木虫Android客户端 |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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首先明确下粗糙度的概念： 用一条直线通过最小二乘法来拟合你的轮廓线，你的轮廓线上每个点和这条拟合出来的线上都会有一个偏离值，这些偏离值的平均值就是Ra，平均粗糙度，这些偏离值的均方根值就是Rq，均方根粗糙度，或者RMS 这个台阶仪的操作方法是计算两个光标之间的粗糙度，将两个光标放在感兴趣的区域两端，在Calculation里面勾选Ra，Rq，Rt(峰谷值)，然后在数据轮廓界面鼠标右键点击Calculate，在轮廓下下面的区域会出现计算结果的表格 提醒：因为这台仪器没有高阶算法，所以拟合的是用直线拟合，如果你扫出来一个台阶，假设台阶是1um，上下表面的粗糙度都是纳米的级别，但你光标分别放在薄膜沉底和薄膜表面上，你会得出一个几百纳米的错误的粗糙度 |
2楼2016-04-18 17:26:04
3楼2016-04-20 12:41:27
