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勿忘心安里铁虫 (小有名气)
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[交流]
铁电薄膜材料刻蚀后，可以从哪些研究
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| 请问铁电薄膜材料刻蚀后，可以从哪些研究？刻蚀出图形后，如从 刻蚀速率和稳定性、表面的成分分析、表面粗糙度、刻蚀的均匀性、刻蚀图形侧壁的陡直度、薄膜的性能（漏电流、P-V曲线、保持性能等）等进行研究。我目前能想到的，也只有这么多了，求同行能够给出建议，感谢！ |
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