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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)

[求助] 如何操作不能见氧气和水的靶材进行磁控溅射? 已有3人参与

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坚持,总会胜利
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

就是溅射的时候,不能与空气和水接触是么?你是溅射的什么靶材呀?LSMO么?
真空状态下不可以么?也来学习参观下,哈哈哈~
4楼2015-11-30 11:42:07
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匿名

用户注销 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖仅楼主可见
2楼2015-11-20 10:59:35
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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xy_yancheng at 2015-11-20 10:59:35
靶材表面做Cr覆盖

哦哦,谢谢

发自小木虫Android客户端
坚持,总会胜利
3楼2015-11-20 11:01:30
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

溅射的什么靶材?成分不稳定吗?有需要请追问
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
5楼2015-12-28 14:27:00
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