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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 二氧化硅的掩蔽作用
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li19910228

银虫 (小有名气)

[求助] 二氧化硅的掩蔽作用 已有1人参与

为了对表面硅有一层保护，一般加工会氧化顶层硅或者淀积氧化硅，问题来了，这个氧化硅厚度在多少才能起到掩蔽保护作用呢？自然氧化层多厚？可以掩蔽吗？谢谢

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1楼 2015-11-19 16:56:09
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嵇语珍

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知你的是哪类应用，有很多研究SiO2层厚度对催化活性影响的文献，你可以找找看
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2楼2015-11-20 10:24:26
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