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汕头大学海洋科学接受调剂
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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)

[求助] 请问各位大神如何操作不能见空气和水的靶材进行磁控溅射 已有1人参与

请大家给予帮助,谢谢大家

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坚持,总会胜利
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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 小白雪 at 2015-11-20 11:17:36
是什么靶材啊??氟华铈??

硫化锂,硫化锗

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坚持,总会胜利
7楼2015-11-20 18:58:42
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhaoyeaaa(20091783代发): 金币+2 2016-03-07 17:05:39
靶材平常放置在干燥的受惰性气体保护的容器中。安装靶材时先将濺射室也充满惰性气体,然后两容器对接,放入靶材,并使用专用装置在外面操控安装靶材。
2楼2015-11-19 13:13:27
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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-11-19 13:13:27
靶材平常放置在干燥的受惰性气体保护的容器中。安装靶材时先将濺射室也充满惰性气体,然后两容器对接,放入靶材,并使用专用装置在外面操控安装靶材。

请问在外边如何操作呢?谢谢!

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坚持,总会胜利
3楼2015-11-19 15:38:35
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by zhaoyeaaa at 2015-11-19 15:38:35
请问在外边如何操作呢?谢谢!
...

估计得设计专用装置吧。
4楼2015-11-19 17:04:29
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