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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 信息资讯 » 请问各位大神如何操作不能见空气和水的靶材进行磁控溅射
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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)

[求助] 请问各位大神如何操作不能见空气和水的靶材进行磁控溅射 已有1人参与

请大家给予帮助，谢谢大家

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坚持，总会胜利
1楼 2015-11-19 11:21:59
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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 小白雪 at 2015-11-20 11:17:36
是什么靶材啊？？氟华铈？？

硫化锂，硫化锗

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坚持，总会胜利
7楼2015-11-20 18:58:42
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaoyeaaa(20091783代发): 金币+2 2016-03-07 17:05:39
靶材平常放置在干燥的受惰性气体保护的容器中。安装靶材时先将濺射室也充满惰性气体，然后两容器对接，放入靶材，并使用专用装置在外面操控安装靶材。
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2楼2015-11-19 13:13:27
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zhaoyeaaa

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-11-19 13:13:27
靶材平常放置在干燥的受惰性气体保护的容器中。安装靶材时先将濺射室也充满惰性气体，然后两容器对接，放入靶材，并使用专用装置在外面操控安装靶材。

请问在外边如何操作呢？谢谢！

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坚持，总会胜利
3楼2015-11-19 15:38:35
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhaoyeaaa at 2015-11-19 15:38:35
请问在外边如何操作呢？谢谢！
...

估计得设计专用装置吧。
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4楼2015-11-19 17:04:29
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