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铜虫 (初入文坛)

[求助] CrMoAlN涂层横截面形貌出现分层,求解释

本人用非平衡磁控溅射制备的CrMoAlN涂层,用扫描电镜观察其横截面形貌发现接近基体的地方呈现出细晶结构,其余呈柱状晶,求大神指教是什么原因导致了细晶的形成?
说明:EDS截面纵向成分显示,涂层成分均匀,排除成分影响,另外Mo含量为8% ,不足以出现细晶结构(单一 CrN涂层呈现柱状晶结构, 随着 Mo含量的增加, 柱状晶粒细化, 至45.4%时, 柱状晶几乎消失, 随着 Mo含量的进一步增加, 又再现柱状晶结构.) 求帮助!急!!

CrMoAlN涂层横截面形貌出现分层,求解释
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小木虫,学习虫
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