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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] AFM测试图片请教分析 已有1人参与

同一个样品,在抛光的单晶硅片上面PVD镀薄膜。选取了两个不同的位置测试表面的粗糙度,如图,两张图片的差异为什么这么大?且Ra值相差远,是什么原因呢?

AFM测试图片请教分析
1.png


AFM测试图片请教分析-1
2.png
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, 谢谢 2015-11-18 14:04:48
第二个位置上有个大的颗粒,可能是外来污染物。再换一个位置试试就行了,貌似均匀性还可以。
2楼2015-11-18 10:44:08
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dwysd at 2015-11-18 10:44:08
第二个位置上有个大的颗粒,可能是外来污染物。再换一个位置试试就行了,貌似均匀性还可以。

这两个图也是同个样品,图片中差异很大,不像一样东西。图3的Ra是图4 Ra的两倍。分别是10.1nm和5.4nm。为何差异这么大呢?谢谢
AFM测试图片请教分析-2
3.png


AFM测试图片请教分析-3
4.png

3楼2015-11-18 14:11:44
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-19 09:11:52
如果你想看5微米尺度的图像,可以先看看20或者50微米尺度的图像,在均匀的位置处,再看5微米尺度的图片。
4楼2015-11-18 16:38:59
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