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Brand Roy

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么用SEM看纳米材料的断面？

样品是PET上的ITO（InO/SnO）线路，30nm左右。
物理磨抛会损坏样品，看不到了，FIB加工也很难做好，PET材料似乎不太合适用FIB切。
还有什么办法么？求指教！谢谢
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1楼 2015-11-16 21:44:25
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