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怎么用SEM看纳米材料的断面？
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样品是PET上的ITO（InO/SnO）线路，30nm左右。 物理磨抛会损坏样品，看不到了，FIB加工也很难做好，PET材料似乎不太合适用FIB切。 还有什么办法么？求指教！谢谢 |
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