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Tao9186

银虫 (初入文坛)

[求助] TFT中非晶硅掺杂

TFT中通过掺杂硼和磷分别获得n型和p型非晶硅，在高温下（300-400度）这些杂质元素是否发生扩散，影响NPN结构？
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1楼 2015-11-16 20:32:07
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110161534

木虫 (正式写手)
同问，求解答，更高温度呢，比如1000度，谢谢
赞一下 回复此楼
GOOD BETTER BEST，NEVER LET IT REST，TILL GOOD IS BETTER AND BETTER BEST！
2楼2015-11-18 08:59:37
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