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2673756335

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[交流] 我在硅片上旋涂PEDOT，但是很不均匀，并且测电阻率也特别高是什么原因？

求教各位大神，我在硅片上旋涂PEDOT，买的是Clevios PH 1000，也加入了5%的DMSO，但是旋涂的特别不均匀，电阻率也很高是什么原因？
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1楼 2015-11-14 15:14:25
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biyuting

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有可能是表面能的问题。硅片的表面能比较低，你旋涂的溶液的表面能高了，所以旋涂出来不均匀，加一些能降低表面能的溶剂看看。另外旋涂机有无震动，硅片是否清洗干净都有影响，溶液旋涂前过滤下看有无帮助。

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5楼2015-11-14 18:15:43
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superceng

管理员

無雙の猛將

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
具体结果呢 如果是涂不开 加点乙二醇

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说自己的,让别人走路去吧!
3楼2015-11-14 16:23:34
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2673756335

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
3楼: Originally posted by superceng at 2015-11-14 16:23:34
具体结果呢 如果是涂不开 加点乙二醇

我加了4%的甲醇，还是很不均匀，就是肉眼都能看见特别不均匀。我不知道是我清洗硅片的问题还是我转速或者退火的问题。

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4楼2015-11-14 17:42:22
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2673756335

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
5楼: Originally posted by biyuting at 2015-11-14 18:15:43
有可能是表面能的问题。硅片的表面能比较低，你旋涂的溶液的表面能高了，所以旋涂出来不均匀，加一些能降低表面能的溶剂看看。另外旋涂机有无震动，硅片是否清洗干净都有影响，溶液旋涂前过滤下看有无帮助。

...

我清洗是先超声，然后用硫酸和过氧化氢清洗，再用HF洗的。我再pedot里面又加了甲醇，但是旋涂出来特别不均匀？

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6楼2015-11-14 18:20:08
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