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sk8terszx

铜虫 (小有名气)

[求助] PLD陶瓷靶材烧结问题 已有4人参与

做PLD陶瓷靶材 其靶材烧结时需要成相吗?还是只需要稍微烧一下就好?我烧出来的靶材致密性不是很好 打磨时会掉粉 对薄膜制备有什么影响?
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chinaworm

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

kding 肯定是要烧成相应的相的
不然在低温下退火怎么可能结晶的那么好
Tomorrow is tomorrow
6楼2016-07-21 10:27:20
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查看全部 6 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
靶材烧结一般需要成相的。打磨时都会掉粉,溅射时就更容易出现大的particle,使镀膜的质量极差。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2015-11-13 20:30:59
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ustb301b

新虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
密度最好高一些,有气孔是大忌

发自小木虫Android客户端
3楼2015-11-14 12:52:52
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

善良
4楼2016-04-18 21:42:59
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