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sk8terszx

铜虫 (小有名气)

[求助] PLD陶瓷靶材烧结问题 已有4人参与

做PLD陶瓷靶材 其靶材烧结时需要成相吗?还是只需要稍微烧一下就好?我烧出来的靶材致密性不是很好 打磨时会掉粉 对薄膜制备有什么影响?
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

一定要成相,要不你长的薄膜就不一定是什么鬼了,靶材一定致密
5楼2016-07-21 09:55:10
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