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SU8胶光刻失败了，求解原因 已有2人参与
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我将匀涂SU8胶的硅片进行紫外曝光，曝光前后和显影后都有按说明书要求进行加热，结果通道失真了，有哪位虫友知道原因的，望赐教 a.JPG  b.JPG  c.JPG  d.JPG |
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