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工工工龚

新虫 (初入文坛)

[求助] SU8胶光刻失败了,求解原因 已有2人参与

我将匀涂SU8胶的硅片进行紫外曝光,曝光前后和显影后都有按说明书要求进行加热,结果通道失真了,有哪位虫友知道原因的,望赐教

SU8胶光刻失败了,求解原因
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SU8胶光刻失败了,求解原因-1
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SU8胶光刻失败了,求解原因-2
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SU8胶光刻失败了,求解原因-3
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

过期没?把胶的型号和实验参数贴上来。
我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
3楼2015-11-19 18:06:23
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

什么叫失真了???
你的设计图我们看不到,你把显影好的图形给我们看也没用。
2楼2015-11-19 14:30:13
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