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cyclonewu

金虫 (小有名气)

[求助] 想请教下大家关于BaTiO3、PZT薄膜方面的问题 已有1人参与

本人是科研小白,最近想做个铁电薄膜,厚度大概100 nm~300 nm,希望能透紫外光(365nm),不知道该选什么铁电材料,不知道有啥方法。希望大神们指教!在此谢过啦

先还是请教几个问题吧:

1.  PZT薄膜和BaTiO3薄膜 都在300nm左右,谁的光透过率好呢?  光是紫外光(365nm)
2. 室温磁控溅射PZT和BTO,哪个性能会好呢?不退火时铁电性怎样呢?  (因为考虑柔性基底)
3. 如何加电极化呢? 参数多少呢? 极化方向怎么确定?
首先要考虑透光
谢谢~
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我多么希望,有一个门口,早晨,阳光照在草上~
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cyclonewu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chinaworm at 2015-11-13 06:03:25
一般压电性能好的是pzt,话说你要透光,你基底用什么,基底上有没有电极,不然电极就会导致不通过光

300nm的PZT能透过紫外光吗?Si基底Pt电极,室温磁控溅射PZT需要注意什么呢?怎样才能保证良好的铁电性呢?
我多么希望,有一个门口,早晨,阳光照在草上~
3楼2015-11-15 13:28:37
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chinaworm

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
cyclonewu: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-15 13:29:15
一般压电性能好的是pzt,话说你要透光,你基底用什么,基底上有没有电极,不然电极就会导致不通过光

发自小木虫Android客户端
Tomorrow is tomorrow
2楼2015-11-13 06:03:25
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