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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题
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sang2015

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该充入的空气里面含有N2，O2，需要电离它们才能镀上。。。

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11楼2015-11-17 10:00:30
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lijia890

禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
12楼2015-11-19 11:55:26
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易沐兮儿

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
回到7pa是他自己回升的还是你调节的哦？

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13楼2015-11-20 00:57:00
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 易沐兮儿 at 2015-11-20 00:57:00
回到7pa是他自己回升的还是你调节的哦？

我自己调节的。

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14楼2015-11-20 09:31:45
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gp0v0xy

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
通入的不是空气，是高纯度的Ar气，这样可以增大电子与Ar原子打我碰撞，提高蒸发速率

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15楼2015-11-20 09:48:26
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易沐兮儿

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-11-20 09:31:45
我自己调节的。
...

那通入的不是空气的，而是工作气体，达到达到它的工作气压的。

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16楼2015-11-20 10:01:50
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by 易沐兮儿 at 2015-11-20 10:01:50
那通入的不是空气的，而是工作气体，达到达到它的工作气压的。
...

应该是空气呢

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17楼2015-11-20 10:11:09
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by gp0v0xy at 2015-11-20 09:48:26
通入的不是空气，是高纯度的Ar气，这样可以增大电子与Ar原子打我碰撞，提高蒸发速率

它就是一个镀电极的过程，没那么复杂吧！

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18楼2015-11-20 10:12:04
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wuc511462014 at 2015-11-15 13:08:53
哈哈哈，咋材料院的磁控溅射仪终于有机会见到了

我这在湖南这边的。

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19楼2015-11-21 23:20:16
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zhao139391

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-11-16 09:20:44
镀电极呢
...

一般抽到多少可以镀电极了啊
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坚持了才会有希望
20楼2016-02-29 13:56:03
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