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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题 已有11人参与

为什么别人跟我说,抽真空时,真空度值先抽到5Pa,然后再回到7Pa(通过一个小旋钮,通入一小部分空气),稳定下来。这样做的目的何在?谢谢!

有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题
IMG_20151106_105116.jpg
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易沐兮儿

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
回到7pa是他自己回升的还是你调节的哦?

发自小木虫Android客户端
13楼2015-11-20 00:57:00
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易沐兮儿

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-11-20 09:31:45
我自己调节的。
...

那通入的不是空气的,而是工作气体,达到达到它的工作气压的。

发自小木虫Android客户端
16楼2015-11-20 10:01:50
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