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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题 已有11人参与

为什么别人跟我说，抽真空时，真空度值先抽到5Pa,然后再回到7Pa（通过一个小旋钮，通入一小部分空气），稳定下来。这样做的目的何在？谢谢！

有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题
IMG_20151106_105116.jpg
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1楼 2015-11-08 15:36:25
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易沐兮儿

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
回到7pa是他自己回升的还是你调节的哦？

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13楼2015-11-20 00:57:00
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易沐兮儿

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-11-20 09:31:45
我自己调节的。
...

那通入的不是空气的，而是工作气体，达到达到它的工作气压的。

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16楼2015-11-20 10:01:50
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