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汕头大学海洋科学接受调剂
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题 已有11人参与

为什么别人跟我说,抽真空时,真空度值先抽到5Pa,然后再回到7Pa(通过一个小旋钮,通入一小部分空气),稳定下来。这样做的目的何在?谢谢!

有关磁控溅射镀膜仪 镀电极的真空度问题
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by t_ower at 2015-11-16 23:27:56
我一般抽到正中间,镀的时候8mA的电流。太高真空,太低真空都不好,因为靠电离气体放电镀膜。

谢谢回复!

发自小木虫Android客户端
10楼2015-11-17 09:13:29
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黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
别人说的就是对的??
2楼2015-11-09 14:46:36
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hahaha0

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我也做这个,从没听说过。

发自小木虫Android客户端
3楼2015-11-10 09:34:44
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匿名

用户注销 (小有名气)

本帖仅楼主可见
4楼2015-11-15 11:36:05
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