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银虫 (初入文坛)

[求助] 铝铜膜的反向漏电问题

磁控溅射镀铝铜膜,冷溅,片内的反向漏电有差别,一边是0,另外一边到了20多微安。请问什么因素会影响到铝铜膜的电参数?这种片内差异又是什么引起的?
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