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银虫 (初入文坛)

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[求助] 铝铜膜的反向漏电问题

磁控溅射镀铝铜膜，冷溅，片内的反向漏电有差别，一边是0，另外一边到了20多微安。请问什么因素会影响到铝铜膜的电参数？这种片内差异又是什么引起的？

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1楼 2015-11-05 15:51:40

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