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铝铜膜的反向漏电问题
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| 磁控溅射镀铝铜膜，冷溅，片内的反向漏电有差别，一边是0，另外一边到了20多微安。请问什么因素会影响到铝铜膜的电参数？这种片内差异又是什么引起的？ |
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