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lyrickaka

新虫 (初入文坛)

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[求助] 关于真空镀膜，怎样确定物质可以蒸发镀膜所需真空度以及对应的温度呢？

我是做近空间升华镀膜的，由于近空间升华炉不需要很高的真空，镀膜时常在20~200Pa的氩气保护下工作。从理论上，我怎么确定一种物质在这样的真空度下，需要多少温度才能发生升华？我需要参考物质的哪些属性呢？

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1楼 2015-11-04 15:58:15

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lyrickaka

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当物质的饱和蒸汽压和环境压力相等时，物质发生升华，我目前是查看参数是无机化合物饱和蒸汽压手册，物质的饱和蒸汽压只于温度有关，随着温度升高，饱和蒸汽压升高，某个温度只对应一个饱和蒸汽压，能不能认为，在某个温度下，这种物质所对应的饱和蒸汽压若小于腔室压力，则此温度该物质不能升华？必须提高温度至其所对应该的饱和蒸汽压大于腔室压力才能升华，这种理解对吗？

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2楼2015-11-04 16:13:31

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