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lyrickaka

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于真空镀膜,怎样确定物质可以蒸发镀膜所需真空度以及对应的温度呢?

我是做近空间升华镀膜的,由于近空间升华炉不需要很高的真空,镀膜时常在20~200Pa的氩气保护下工作。从理论上,我怎么确定一种物质在这样的真空度下,需要多少温度才能发生升华?我需要参考物质的哪些属性呢?
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lyrickaka

新虫 (初入文坛)

当物质的饱和蒸汽压和环境压力相等时,物质发生升华,我目前是查看参数是无机化合物饱和蒸汽压手册,物质的饱和蒸汽压只于温度有关,随着温度升高,饱和蒸汽压升高,某个温度只对应一个饱和蒸汽压,能不能认为,在某个温度下,这种物质所对应的饱和蒸汽压若小于腔室压力,则此温度该物质不能升华?必须提高温度至其所对应该的饱和蒸汽压大于腔室压力才能升华,这种理解对吗?
2楼2015-11-04 16:13:31
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