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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 虫友们，退火是边通边抽还是封闭腔体好？
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ztfly

木虫 (小有名气)

[求助] 虫友们，退火是边通边抽还是封闭腔体好？ 已有2人参与

如题，封闭的话，充多少气体比较合适，边通边抽的话，流量多少是个大概值，保持体系多大的压强比较好呢？求解啊！

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1楼 2015-11-01 10:53:48
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by ztfly at 2015-11-01 16:05:10
正压比负压退火好吗？
...

这可能还需要看退火工艺的要求以及炉子的情况。一般的，炉子密封情况不好时，为防止空气进入炉内，当然必须要保持炉内正压了。但也不能太大，太大的话一方面气体消耗量巨大，另外炉膛会受到向外膨胀的力，损坏炉膛。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2015-11-01 16:20:56
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个要看你具体退火目的，有低压，有常压退火，有通气体，有不通的，有通一种，有通两种，低压比较简单，常压的话要先抽低压，气体充至微正压，再打开放气阀归零。（希望对你有用）

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慎独
2楼2015-11-01 13:13:03
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ztfly

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2015-11-01 13:13:03
这个要看你具体退火目的，有低压，有常压退火，有通气体，有不通的，有通一种，有通两种，低压比较简单，常压的话要先抽低压，气体充至微正压，再打开放气阀归零。（希望对你有用）
...

也是工大的？我是电物小白楼这边的。。

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3楼2015-11-01 14:27:44
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般是边通边抽比较好吧。流通可以带走实验过程中出现的杂质。一般维持炉压比环境高个几百帕到上千帕就可以了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2015-11-01 14:37:32
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