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binglvyin

银虫 (小有名气)

[求助] 用双面对准曝光机对硅片进行背部套刻时,image gain 相关问题? 已有1人参与

如题,对硅片进行背部套刻时,首先放置掩膜板,找到对准标记,在电脑屏幕上获取图形。求虫友解答,获取的是上光镜看到还是下光镜看到的呢?还有背部套刻时有什么注意事项,还望有经验的人给点指点,谢谢~~~
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
binglvyin: 金币+20, ★★★★★最佳答案, 很专业,提醒很到位 2015-11-04 17:07:53
不是上光也不叫下光,叫正面显微镜和背面显微镜。进行背面套准的时候,用的是背面显微镜。
最双面光刻,要注意mask最好设计成180度对称的,否则很容易做错。
2楼2015-11-04 16:42:30
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