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用双面对准曝光机对硅片进行背部套刻时,image gain 相关问题? 已有1人参与
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| 如题,对硅片进行背部套刻时,首先放置掩膜板,找到对准标记,在电脑屏幕上获取图形。求虫友解答,获取的是上光镜看到还是下光镜看到的呢?还有背部套刻时有什么注意事项,还望有经验的人给点指点,谢谢~~~ |
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yswyx
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