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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 玻璃基底上镀有金属薄膜怎么看截面和测膜厚
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hongyunyue

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
测厚度的话，台阶仪，光干涉仪都可以。薄膜太薄，截面形貌需要专门的离子束切割制样后用FESEM看，截面样品结构用TEM，制样大概是样品面朝里贴在一起，磨薄后挖坑仪挖坑再离子减薄后贴铜环上做TEM，一般好一些的学校，TEM实验室都配这些制样仪器。
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这个世界上，真相只有一个，可是在不同人眼中，却会看出不同的是非曲直。
11楼2015-10-30 13:46:18
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by TopyLy at 2015-10-30 12:41:23
谢谢回复 用SEM和TEM测截面，玻璃基材的薄膜材料怎么获取这个截面呢？...

之前作過，不過是委外測試公司作的。
是切一塊玻璃帶過去，交由他們處理。
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12楼2015-10-30 13:49:29
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wangxueqf

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by TopyLy at 2015-10-29 13:20:10
谢谢回复。SEM可以测到几十个纳米厚的薄膜吗？另外可以用这个来看厚度不
...

没问题～～

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做好今天的自己
13楼2015-10-30 14:12:58
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梧桐雪

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我最近正在做镀膜界面观测。
一、根据我的实验情况，用SEM观察截面情况是比较好的。这需要做的准备工作是：1、镀膜样品需要比较新鲜；2、将样品用玻璃刀划开、或是用FIB（激光离子束）切开、或是直接用手掰开。注意：① 弄开的截面需要做喷金或喷铂处理，增强导电性；② 此外样品不能太大，否则制样喷金不好处理；③弄开后需要对表面进行吸尘处理，吸走表面的颗粒，否SEM观测会有一定影响；④ 观察到截面后，可以对截面划线扫能谱图，确定沿线的物质成分，确定是否是MgF。
在完成上诉准备后可在SEM上看到比较明显的基底和镀膜分层，通过测量即可得知厚度。
二、根据我的了解，TEM观测制样非常复杂，需要最终将样品加基底减薄至50μm后，这个过程需要很多道工序，对于镀膜样品来说，这一过程很可能会对表面膜层造成损坏。至于厚度测试，我尚不清楚。
三、采用台阶仪测试。对于要求不高的样品，可以在镀膜前预先在基底上贴上胶带，待镀膜完成后，撕去胶带，即可看到台阶。不过台阶仪如果测试的厚度在几十个纳米的话，结果可能不准，当然视设备情况而定。
四、采用椭偏仪测量。椭偏仪是基于光干涉原理间接计算膜厚。前提是，在椭偏仪的数据库中需要有你的基底和镀膜材料的光学参数，包括折射率n、吸收率k、大致的厚度。同时还以通过拟合反求你的样品的折射率等参数。
以上是我了解的一些情况。
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在这个FreeandOpen的学术平台内，希望找到更多的志同道合的朋友！
14楼2015-10-30 14:21:53
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645847009

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by TopyLy at 2015-10-30 09:37:49
感谢回复。用AFM的话，玻璃基底的薄膜怎么做截面呢？
...

很抱歉，目前我们都是送去给单位做的。我自己没有亲自做

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15楼2015-10-30 22:06:45
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TopyLy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 645847009 at 2015-10-30 22:06:45
很抱歉，目前我们都是送去给单位做的。我自己没有亲自做
...

嗯。还是要谢谢你的回复

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16楼2015-10-31 09:38:52
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renxiaoyao90

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by TopyLy at 2015-10-29 13:20:10
谢谢回复。SEM可以测到几十个纳米厚的薄膜吗？另外可以用这个来看厚度不
...

SEM完全可以完成你的要求

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认定的路，爬也要爬到尽头
17楼2015-10-31 09:41:51
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