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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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TopyLy

兑换贵宾

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[交流] 玻璃基底上镀有金属薄膜怎么看截面和测膜厚 已有10人参与

如题描述,在玻璃基底上镀了一层MgY薄膜,现在想观察截面情况和测量膜厚,有什么方法么?有的话该如何制样?以前从未做过这方面的研究,特来请教各位大侠。谢谢啦~
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梧桐雪

主管区长

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我最近正在做镀膜界面观测。
一、根据我的实验情况,用SEM观察截面情况是比较好的。这需要做的准备工作是:1、镀膜样品需要比较新鲜;2、将样品用玻璃刀划开、或是用FIB(激光离子束)切开、或是直接用手掰开。注意:① 弄开的截面需要做喷金或喷铂处理,增强导电性;② 此外样品不能太大,否则制样喷金不好处理;③弄开后需要对表面进行吸尘处理,吸走表面的颗粒,否SEM观测会有一定影响;④ 观察到截面后,可以对截面划线扫能谱图,确定沿线的物质成分,确定是否是MgF。
在完成上诉准备后可在SEM上看到比较明显的基底和镀膜分层,通过测量即可得知厚度。
二、根据我的了解,TEM观测制样非常复杂,需要最终将样品加基底减薄至50μm后,这个过程需要很多道工序,对于镀膜样品来说,这一过程很可能会对表面膜层造成损坏。至于厚度测试,我尚不清楚。
三、采用台阶仪测试。对于要求不高的样品,可以在镀膜前预先在基底上贴上胶带,待镀膜完成后,撕去胶带,即可看到台阶。不过台阶仪如果测试的厚度在几十个纳米的话,结果可能不准,当然视设备情况而定。
四、采用椭偏仪测量。椭偏仪是基于光干涉原理间接计算膜厚。前提是,在椭偏仪的数据库中需要有你的基底和镀膜材料的光学参数,包括折射率n、吸收率k、大致的厚度。同时还以通过拟合反求你的样品的折射率等参数。
以上是我了解的一些情况。
在这个FreeandOpen的学术平台内,希望找到更多的志同道合的朋友!
14楼2015-10-30 14:21:53
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TopyLy

主管区长

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引用回帖:
2楼: Originally posted by shenglongde at 2015-10-29 13:15:36
SEM

谢谢回复。SEM可以测到几十个纳米厚的薄膜吗?另外可以用这个来看厚度不

发自小木虫IOS客户端
3楼2015-10-29 13:20:10
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wanghuaxing

主管区长


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4楼2015-10-29 21:12:16
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645847009

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
好像AFM可以看得很清楚,楼主可以参考下
5楼2015-10-29 22:10:20
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