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TopyLy

新虫 (小有名气)

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[交流] 玻璃基底上镀有金属薄膜怎么看截面和测膜厚已有10人参与

如题描述，在玻璃基底上镀了一层MgY薄膜，现在想观察截面情况和测量膜厚，有什么方法么？有的话该如何制样？以前从未做过这方面的研究，特来请教各位大侠。谢谢啦~

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1楼 2015-10-29 12:54:46

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梧桐雪

铁虫 (小有名气)

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我最近正在做镀膜界面观测。
一、根据我的实验情况，用SEM观察截面情况是比较好的。这需要做的准备工作是：1、镀膜样品需要比较新鲜；2、将样品用玻璃刀划开、或是用FIB（激光离子束）切开、或是直接用手掰开。注意：① 弄开的截面需要做喷金或喷铂处理，增强导电性；② 此外样品不能太大，否则制样喷金不好处理；③弄开后需要对表面进行吸尘处理，吸走表面的颗粒，否SEM观测会有一定影响；④ 观察到截面后，可以对截面划线扫能谱图，确定沿线的物质成分，确定是否是MgF。
在完成上诉准备后可在SEM上看到比较明显的基底和镀膜分层，通过测量即可得知厚度。
二、根据我的了解，TEM观测制样非常复杂，需要最终将样品加基底减薄至50μm后，这个过程需要很多道工序，对于镀膜样品来说，这一过程很可能会对表面膜层造成损坏。至于厚度测试，我尚不清楚。
三、采用台阶仪测试。对于要求不高的样品，可以在镀膜前预先在基底上贴上胶带，待镀膜完成后，撕去胶带，即可看到台阶。不过台阶仪如果测试的厚度在几十个纳米的话，结果可能不准，当然视设备情况而定。
四、采用椭偏仪测量。椭偏仪是基于光干涉原理间接计算膜厚。前提是，在椭偏仪的数据库中需要有你的基底和镀膜材料的光学参数，包括折射率n、吸收率k、大致的厚度。同时还以通过拟合反求你的样品的折射率等参数。
以上是我了解的一些情况。