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TopyLy

新虫 (小有名气)

[交流] 玻璃基底上镀有金属薄膜怎么看截面和测膜厚 已有10人参与

如题描述,在玻璃基底上镀了一层MgY薄膜,现在想观察截面情况和测量膜厚,有什么方法么?有的话该如何制样?以前从未做过这方面的研究,特来请教各位大侠。谢谢啦~
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
截面大概只有 SEM和 TEM了。
厚度量測方法很多,建議內部尋找先。
外部資源耗時、耗錢。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
8楼2015-10-30 11:36:11
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TopyLy

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by shenglongde at 2015-10-29 13:15:36
SEM

谢谢回复。SEM可以测到几十个纳米厚的薄膜吗?另外可以用这个来看厚度不

发自小木虫IOS客户端
3楼2015-10-29 13:20:10
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

4楼2015-10-29 21:12:16
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645847009

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
好像AFM可以看得很清楚,楼主可以参考下
5楼2015-10-29 22:10:20
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