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睡睡谁谁金虫 (小有名气)
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分子泵换油问题
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给磁控溅射的分子泵换油，但是油池怎么都卸不下来，溅射腔内部放气达到了大气状态，而且插板阀也打开了，可是油池还是卸不下来！求解决方法！ 分子泵是北京泰岳恒真空技术研究所的，型号：TYFB-1200 复合分子泵，我是按厂家说的步骤卸油池的，然而还是不行！ |
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2楼2015-10-27 15:33:56
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问题是已经用了好大的力气，然而没什么用，5楼2015-10-28 13:19:48
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