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睡睡谁谁金虫 (小有名气)
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分子泵换油问题
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给磁控溅射的分子泵换油,但是油池怎么都卸不下来,溅射腔内部放气达到了大气状态,而且插板阀也打开了,可是油池还是卸不下来!求解决方法!![]() 分子泵是北京泰岳恒真空技术研究所的,型号:TYFB-1200 复合分子泵,我是按厂家说的步骤卸油池的,然而还是不行! |
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2楼2015-10-27 15:33:56
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4楼2015-10-27 20:35:08
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5楼2015-10-28 13:19:48
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问题是已经用了好大的力气,然而没什么用,